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MOTT氣體過(guò)濾器DEF515H系列

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產(chǎn)品品牌：
型號(hào)：DEF515HFF33
MOTT過(guò)濾器DEF515HFF33
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技術(shù)資料：MOTT Filter DEF515H Series

MOTT過(guò)濾器DEF515H系列技術(shù)參數(shù)

SPECIFICATIONS


Particle Removal Size:

≥0.0015 μm

Filter Efficiency (Log Reduction   Value):

≥9 LRV (99 999999% reduction in   particles). Confirmed at the most penetrating particle size of 0.08 μm per   SEMI F38-0699 test method

Helium Leak Rating:

1 x 10-9 atm cc/sec

Moisture Contribution:

<10 ppb after 1 hour at   low-flow ambient purge per SEMI F27 test method

Total Hydrocarbons:

Below detectable limits per   SEMASPEC 90120396B test method

Particle Shedding:

Zero particle contribution above   background (<1 particle/ft3) per SEMI F43-0308 test method


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MOTT過(guò)濾器DEF515H系列介紹

描述

Mott High Purity Defender 濾器提供9級(jí)顆粒過(guò)濾，過(guò)濾粒徑低至0.0015微米，確保氣體無(wú)顆粒。此外，高流量 Defender 濾器在體積緊湊的設(shè)計(jì)中提供大量過(guò)濾容量。高流量 Defender 設(shè)計(jì)每英寸線性長(zhǎng)度能提供超過(guò)100標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘的氣體過(guò)濾，是全球所有金屬超高純度（UHP）過(guò)濾器中過(guò)濾容量最大的產(chǎn)品。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

用于批量專用氣體源輸送系統(tǒng)的高流量UHP氣體過(guò)濾，以及用于半導(dǎo)體設(shè)備連接的高流量氣體棒。UHP過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于閥組箱、氣體柜、設(shè)備隔離氣體箱、原始設(shè)備制造商（OEM）氣體箱，以及公用事業(yè)和批量工藝氣體線路中。

 

DESCRIPTION

Mott High Purity Defender Fiters provide 9-log Filtration of particles down to 0.0015 μm resulting in particle-free gas. In addition, High Flow Defender Filters provide large filtration capacity in a small compact foot print. The High Flow Defender is designed to provide over 100 slpm of gas  filtration per linear inch. The most filtration capacity of any all-metal Ultra High Purity (UHP) filter in the world.

 

APPLICATIONS .

High Flow UHP gas filtration for bulk specialty gas source delivery systems, and high flow gas sticks for semiconductor tool hookup. UHP filtration in Valve manifold boxes, gas cabinets, tool isolation gas boxes, OEM gas boxes, and Utility and Bulk process gas lines.

 

MOTT過(guò)濾器DEF515H系列其他常用型號(hào)：

MOTT DXP331FF11

MOTT DEF315HFF33

MOTT DEF112TT11

MOTT DEF280FP11

MOTT DEF331FF11

 

MOTT GAS FILTERS NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY

 

愛(ài)澤工業(yè)成立于2010年，定位于向制造工業(yè)提供高端制造技術(shù)和設(shè)備。代理經(jīng)營(yíng)世界優(yōu)質(zhì)的電氣自動(dòng)化、機(jī)械與傳動(dòng)、流體控制、儀器儀表、工具等產(chǎn)品。作為電氣，液壓以及氣動(dòng)解決方案的合作伙伴，我們利用我們的全球協(xié)作團(tuán)隊(duì)，為客戶提供先進(jìn)解決方案，市場(chǎng)知識(shí)以及相關(guān)增值服務(wù)來(lái)幫助優(yōu)化客戶的工作效率，提高可靠性和安全性，致力于成為工業(yè)產(chǎn)品和解決方案的優(yōu)質(zhì)渠道。

 

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MOTT過(guò)濾器DEF515H系列DEF515HFF33技術(shù)參數(shù)及介紹

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